IC裝備產(chǎn)業(yè)作為高端裝備制造業(yè)的基礎(chǔ)和核心，是國民經(jīng)濟(jì)和社會發(fā)展的戰(zhàn)略性、先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)，在國民經(jīng)濟(jì)與國防安全方面發(fā)揮著重要作用。根據(jù)《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》的要求，近年來，沈陽市大力培育壯大IC裝備產(chǎn)業(yè)，為全市經(jīng)濟(jì)社會又好又快發(fā)展提供強(qiáng)大科技支撐。
  經(jīng)過不懈的努力，沈陽市已經(jīng)建立起國內(nèi)最完整的IC裝備產(chǎn)業(yè)鏈條，獨(dú)創(chuàng)了“產(chǎn)品市場+技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟+骨干企業(yè)+公共技術(shù)平臺+國家和省級研發(fā)機(jī)構(gòu)+國家科技重大專項(xiàng)+地方政府支持”的沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展模式。
  一是聚集了一批掌握核心技術(shù)的高端領(lǐng)軍人才，培養(yǎng)出一批高素質(zhì)的專業(yè)人才隊(duì)伍，組建了IC裝備專業(yè)孵化器，成立了IC裝備產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟，形成了具有較強(qiáng)開發(fā)能力和創(chuàng)新活力的科技創(chuàng)新服務(wù)體系；二是突破了一批制約我國IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)出一批填補(bǔ)國內(nèi)空白、市場需求量大的IC整機(jī)裝備和核心單元部件產(chǎn)品，大部分產(chǎn)品已經(jīng)批量投放市場，得到廣大用戶的認(rèn)可；三是建立了具有較強(qiáng)研發(fā)和生產(chǎn)能力的高等級精密零部件加工和表面處理平臺，技術(shù)能力與工藝水平在國內(nèi)居于領(lǐng)先地位，產(chǎn)品已經(jīng)成功打入國際市場，并成為國際行業(yè)巨頭的戰(zhàn)略客戶；四是吸納和成長起科儀、拓荊、芯源、富創(chuàng)、新松、博微、硅基等分布于IC裝備產(chǎn)業(yè)鏈各個(gè)環(huán)節(jié)、富有創(chuàng)新活力的制造企業(yè)，主導(dǎo)產(chǎn)品已在國內(nèi)半導(dǎo)體加工、醫(yī)療器械、太陽能電池等行業(yè)實(shí)現(xiàn)銷售和應(yīng)用。建立起橫向涵蓋材料、零件、功能部件、系統(tǒng)、整機(jī)設(shè)備等環(huán)節(jié)，縱向涵蓋研發(fā)、孵化、成果轉(zhuǎn)化到產(chǎn)業(yè)化實(shí)施的可持續(xù)創(chuàng)新發(fā)展的產(chǎn)業(yè)體系。
  “北上沈”三足鼎立
  IC（集成電路Integrated circuit）裝備產(chǎn)業(yè)是國家基礎(chǔ)性、戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，代表了當(dāng)今世界制造技術(shù)的最高水平。IC裝備產(chǎn)業(yè)包括設(shè)計(jì)、制造、封裝等7大類130多個(gè)品種，零部件數(shù)以千計(jì)，融合了精密機(jī)械、光學(xué)、材料、儀器儀表、自動控制等學(xué)科。由于IC裝備產(chǎn)業(yè)關(guān)聯(lián)度高、輻射度廣，對平板顯示器、光伏發(fā)電、LED等產(chǎn)業(yè)都具有推動作用，因而成為國內(nèi)外發(fā)展最為迅速和競爭最為激烈的產(chǎn)業(yè)之一。
  同歐美發(fā)達(dá)國家相比，我國IC裝備產(chǎn)業(yè)起步較晚，但發(fā)展迅猛。2014年，我國IC裝備產(chǎn)業(yè)市場規(guī)模上升至10393億元，同比增速達(dá)到13.4%。目前，國內(nèi)IC裝備產(chǎn)業(yè)的研發(fā)生產(chǎn)形成了北京、上海和沈陽三足鼎立的態(tài)勢。
  沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè),不僅有科儀、富創(chuàng)、新松、博微等一大批IC零部件產(chǎn)品全國領(lǐng)先的企業(yè)，而且還有拓荊、芯源等，在IC裝備整機(jī)產(chǎn)品方面不斷突破，異軍突起的企業(yè)……尤為難得的是，國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金與沈陽拓荊簽署增資協(xié)議，投資額度共計(jì)2.7億元。截至目前，資金已經(jīng)全部到位。沈陽拓荊成為國內(nèi)第二家得到支持的集成電路裝備制造企業(yè)。
  專注構(gòu)建研發(fā)體系
  沈陽市擁有國內(nèi)惟一的真空技術(shù)裝備國家工程實(shí)驗(yàn)室、國家真空儀器裝置工程技術(shù)研究中心和真空專業(yè)博士點(diǎn)，擁有我國機(jī)器人研究開發(fā)的頂尖機(jī)構(gòu)——中科院沈陽自動化所，擁有國內(nèi)較早研制生產(chǎn)半導(dǎo)體器件和集成電路的研究所——中國電子集團(tuán)公司第四十七研究所，擁有IC裝備應(yīng)用材料的技術(shù)支撐機(jī)構(gòu)——中科院金屬研究所，與IC裝備產(chǎn)業(yè)直接相關(guān)的國家級工程技術(shù)中心達(dá)到5個(gè)，從業(yè)人員3000多人，開展了50余項(xiàng)產(chǎn)業(yè)共性、關(guān)鍵和前沿技術(shù)的研究，形成了相對完善的公共服務(wù)和研發(fā)體系。同時(shí)，沈陽市建立了與海外相關(guān)領(lǐng)域知名華人專家的暢通合作渠道，成功引進(jìn)了國際IC行業(yè)知名專家姜謙、呂光泉、韋亞一、吳功、姜小平等一批歸國創(chuàng)業(yè)人員，為沈陽市IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入了動力和活力。
  產(chǎn)業(yè)集群初具規(guī)模
  沈陽市IC裝備產(chǎn)業(yè)區(qū)域集中，產(chǎn)業(yè)合作緊密，企業(yè)與產(chǎn)品間上下游分工合理。目前，IC裝備企業(yè)已發(fā)展到50余家，200多種產(chǎn)品。其中，包括科儀、拓荊、芯源、富創(chuàng)、博微、新松、硅基等一批骨干企業(yè)。隨著全市IC裝備產(chǎn)業(yè)化程度不斷提高，主導(dǎo)產(chǎn)品已在國內(nèi)半導(dǎo)體加工、醫(yī)療器械、太陽能電池等行業(yè)實(shí)現(xiàn)銷售和應(yīng)用，并逐漸進(jìn)入主流市場。同時(shí)，帶動了平板顯示器、太陽能電池、LED等關(guān)聯(lián)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，建立起橫向涵蓋材料、零件、功能部件、系統(tǒng)、整機(jī)設(shè)備等環(huán)節(jié)，縱向涵蓋研發(fā)、孵化、成果轉(zhuǎn)化到產(chǎn)業(yè)化實(shí)施的可持續(xù)創(chuàng)新發(fā)展的產(chǎn)業(yè)體系。2015年，沈陽市IC裝備產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)總產(chǎn)值24.5億元，同比增長7%。
  營造良好發(fā)展環(huán)境
  在政策推動方面，沈陽市政府與中科院簽署了《合作推進(jìn)沈陽IC裝備及零部件產(chǎn)業(yè)發(fā)展的框架方案》，建立了協(xié)調(diào)工作機(jī)制。出臺了《沈陽市人民政府關(guān)于加快推進(jìn)IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展的實(shí)施意見》，制定了推動IC裝備產(chǎn)業(yè)健康快速發(fā)展的政策措施；在產(chǎn)學(xué)研合作方面，成立了沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟，在技術(shù)、人才、信息等方面實(shí)現(xiàn)共享，積極探索利益共同體的形成機(jī)制。
  經(jīng)過不懈努力，沈陽市已經(jīng)建立起國內(nèi)最完整的IC裝備產(chǎn)業(yè)鏈條，獨(dú)創(chuàng)了“產(chǎn)品市場+技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟+骨干企業(yè)+公共技術(shù)平臺+國家和省級研發(fā)機(jī)構(gòu)+國家科技重大專項(xiàng)+地方政府支持”的沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展模式。準(zhǔn)確的發(fā)展定位和良好的發(fā)展環(huán)境，使沈陽市IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展水平在短期內(nèi)全面超越了西安、成都等城市，迅速躋身全國三甲，與北京、上海形成三足鼎立之勢。
  積極參與國際競爭
  下一步，沈陽市將通過機(jī)制創(chuàng)新、資本運(yùn)作，內(nèi)引外聯(lián)、產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟等措施，加快IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展。做大做強(qiáng)優(yōu)勢產(chǎn)品，樹立沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)品牌；大力承接零部件加工外包業(yè)務(wù)，拓展用戶領(lǐng)域；向光伏、LED、平板顯示器等領(lǐng)域延伸產(chǎn)業(yè)鏈條，并形成配套能力；積極參與國際競爭，進(jìn)軍東南亞、歐美等國際市場。
  依托沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)園，做強(qiáng)做大一批整機(jī)設(shè)備及關(guān)鍵單元部件制造企業(yè)，打造集設(shè)計(jì)、制造、材料為一體的全產(chǎn)業(yè)鏈條，努力將IC裝備產(chǎn)業(yè)培育成支柱產(chǎn)業(yè)。預(yù)計(jì)到2017年，IC裝備產(chǎn)業(yè)將實(shí)現(xiàn)年銷售收入70億元、利稅24億元；到2020年，實(shí)現(xiàn)年銷售收入200億元、利稅70億元。

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