日前，2012年度國家02科技重大專項(xiàng)“300mm晶圓勻膠顯影設(shè)備研發(fā)”項(xiàng)目在沈陽順利通過任務(wù)、財(cái)務(wù)驗(yàn)收。
  沈陽芯源公司聯(lián)合中科院沈陽自動化研究所、清華大學(xué)深圳研究生院、上海集成電路研發(fā)中心、上海微電子裝備有限公司等幾家產(chǎn)學(xué)研用合作單位，攻克了193nm光刻工藝超薄膠膜均勻涂敷、精細(xì)化顯影、精密、溫控?zé)崽幚淼汝P(guān)鍵核心技術(shù)，建立了前道制程300mm勻膠顯影設(shè)備工藝實(shí)驗(yàn)及測試平臺，研制出具有自主知識產(chǎn)權(quán)的300mm光刻工藝勻膠顯影設(shè)備考核測試機(jī)和上線示范應(yīng)用機(jī)，已成功應(yīng)用于中科院北京微電子研究所22nm先導(dǎo)性工藝研究和武漢新芯集成電路制造有限公司3D NAND工藝考核測試。
  該產(chǎn)品已成功銷售并應(yīng)用于臺灣精材、華天科技、江蘇長電等業(yè)界知名芯片生產(chǎn)廠商。該項(xiàng)目的市場化、產(chǎn)業(yè)化將為芯源公司帶來新的增長突破點(diǎn)，也將進(jìn)一步發(fā)揮芯源公司作為遼沈地區(qū)IC裝備龍頭企業(yè)對產(chǎn)業(yè)鏈的拉動作用，加快遼沈地區(qū)傳統(tǒng)加工業(yè)進(jìn)入精密加工行業(yè)進(jìn)程，帶動產(chǎn)業(yè)優(yōu)化升級，推動遼沈地區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)?；?、集聚化發(fā)展。

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