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URE—2000A型紫外光刻機(jī)

   2016-03-10 科技網(wǎng)整理
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核心提示: 主要技術(shù)特點(diǎn):   該機(jī)采用i線紫外曝光光源,光學(xué)系統(tǒng)采用特殊的消衍射和線條陡直增強(qiáng)技術(shù),采用積木錯(cuò)

 

 
主要技術(shù)特點(diǎn): 
   該機(jī)采用i線紫外曝光光源,光學(xué)系統(tǒng)采用特殊的消衍射和線條陡直增強(qiáng)技術(shù),采用積木錯(cuò)位繩眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明,并配備了雙目雙視顯微鏡和CCD圖象對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)(可同時(shí)使用),曝光能量高,聚光角度小,突具厚膠曝光功能,曝光設(shè)定采用微機(jī)控制,菜單界面友好,操作簡(jiǎn)便。 
 
  
主要技術(shù)指標(biāo): 
★ 曝光面積:150mm×150mm; 
★ 分辨力:  0.8~1μm(膠厚2μm正膠); 
★ 膠厚500μm(SU8膠,據(jù)用戶工藝條件); 
★ 對(duì)準(zhǔn)精度:±0.6μm; 
★ 照明均勻性:±3.5%(ф100mm);±5.5%(ф150mm) 
★ 掩模尺寸:3inch、4inch、5inch、7inch; 
★ 樣片尺寸:直徑ф15mm-ф150mm、厚度0.1mm-6mm; 
★ 汞燈功率:1000W(直流); 
★ 曝光方式:定時(shí)(倒計(jì)時(shí)方式0.1s~999.9s)。 
聯(lián)系人: 胡主任、唐主任 
電話:85101784  85100564   免責(zé)聲明:科技網(wǎng)發(fā)布的科技成果相關(guān)信息系根據(jù)科技成果信息提供方提供的信息內(nèi)容進(jìn)行發(fā)布。 科技網(wǎng)作為信息收集、發(fā)布平臺(tái),僅對(duì)科技成果相關(guān)信息內(nèi)容進(jìn)行發(fā)布,不對(duì)所發(fā)布科技成果的相關(guān)信息的真實(shí)性、完整性、準(zhǔn)確性和合法性負(fù)責(zé),不保證所發(fā)布科技成果的名稱、圖片、描述與科技成果的實(shí)際相符,也不對(duì)科技成果做任何擔(dān)保和承諾。
 
 
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