技術(shù)特征：

●大面積一次壓印；

●自動脫模；

●由PLC控制工藝過程，可實現(xiàn)自主定制；

●可與接近接觸式光刻機兼容；

主要技術(shù)指標(biāo)：

● 分辯力： ≤ 15nm；

● 大功率紫外固化UV LED；

● 樣片尺寸：4 英寸(可定制)；

● 壓印面積：2英寸(可定制)；

● 模板尺寸：5 x 0.090英寸(可定制)；

● 壓印壓力：0 - 25 PSI (可升級到100 PSI)；

● 產(chǎn)量：< 5 分鐘/片；

● 使用方便：Step-by-step Menu；