技術(shù)特點:
采用雙目雙視場顯微鏡對準;球碗調(diào)平,單片機控制,觸摸開關(guān),操作方便、實用性強。
主要技術(shù)指標:
★ 曝光面積:?ф100mm;
★ 分辨力: 1.7μm(膠厚2 μm的正膠);
★ 對準精度: ±1μm;
★ 掩模樣片整體運動范圍:X:6mm;Y:6mm;
★ 掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch;
★ 樣片尺寸:直徑ф15mm-- ф100mm、
厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm);
★ 照明均勻性:±6%(ф100mm 范圍);
★ 掩模相對于樣片運動行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°;
★ 汞燈功率:200W(直流);★曝光方式:定時(倒計時方式)。
聯(lián)系人:胡主任、唐主任
電話:85101784、85100564
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