技術(shù)特點： 
采用雙目雙視場顯微鏡對準；球碗調(diào)平,單片機控制,觸摸開關(guān),操作方便、實用性強。 
 
主要技術(shù)指標： 
★ 曝光面積：?ф100mm； 
★ 分辨力：　 1.7μm（膠厚2 μm的正膠）； 
★ 對準精度：  ±1μm；　　 
★ 掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm； 
★ 掩模尺寸：2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch； 
★ 樣片尺寸：直徑ф15mm-- ф100mm、 
　　　　　　厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)； 
★ 照明均勻性：±6%（ф100mm 范圍）； 
★ 掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm;　 Y: ±5mm;　θ: ±6°； 
★ 汞燈功率：200W（直流）；★曝光方式：定時（倒計時方式）。 
聯(lián)系人:胡主任、唐主任 
電話:85101784、85100564   免責聲明：科技網(wǎng)發(fā)布的科技成果相關(guān)信息系根據(jù)科技成果信息提供方提供的信息內(nèi)容進行發(fā)布。 科技網(wǎng)作為信息收集、發(fā)布平臺，僅對科技成果相關(guān)信息內(nèi)容進行發(fā)布，不對所發(fā)布科技成果的相關(guān)信息的真實性、完整性、準確性和合法性負責，不保證所發(fā)布科技成果的名稱、圖片、描述與科技成果的實際相符，也不對科技成果做任何擔保和承諾。