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超精密定位氣浮工件臺

   2016-03-10 科技網(wǎng)整理
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核心提示：主要技術(shù)指標★ 運動擺動：0.5”★ 工件臺行程：150×150mm；★ 重復定位精度:60nm★ 微動靈敏度:5nm★ 水

 

 

主要技術(shù)指標
★ 運動擺動：<0.5”
★ 工件臺行程：150×150mm；
★ 重復定位精度:60nm
★ 微動靈敏度:5nm
★ 水平擺動：<0.5"
★ 垂直擺動：<0.5"
★ 垂直跳動：0.4μm

聯(lián)系人:胡主任、唐主任

電話:85101784、85100564

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