主要技術(shù)指標(biāo): 
★ X、Y導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)直線性： 
水平≤2.5″、垂直≤3″ 
★ 工件臺(tái)面垂直跳動(dòng)≤±2.5μm； 
★ X、Y向機(jī)械導(dǎo)向正交性≤2″； 
★ 工件臺(tái)行程：150×150mm； 
★ 工件臺(tái)最高移動(dòng)速度：20mm/Sec； 
★ 測(cè)量分辨率：0.6nm（λ/1024）； 
★ 工作室真空度：1.33×10-4Pa。 
聯(lián)系人:胡主任

電話:85101784、85100564