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激光定位高精密工件臺(tái)

   2016-03-10 科技網(wǎng)整理
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核心提示:  主要技術(shù)指標(biāo):★X、Y導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)直線(xiàn)性:水平≤2.5″、垂直≤3″★工件臺(tái)面垂直跳動(dòng)≤±2.5μm;★X、Y向

 
 
 
主要技術(shù)指標(biāo): 
★ X、Y導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)直線(xiàn)性: 
水平≤2.5″、垂直≤3″ 
★ 工件臺(tái)面垂直跳動(dòng)≤±2.5μm; 
★ X、Y向機(jī)械導(dǎo)向正交性≤2″; 
★ 工件臺(tái)行程:150×150mm; 
★ 工件臺(tái)最高移動(dòng)速度:20mm/Sec; 
★ 測(cè)量分辨率:0.6nm(λ/1024); 
★ 工作室真空度:1.33×10-4Pa。 
聯(lián)系人:胡主任

電話(huà):85101784、85100564

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