主要技術(shù)指標(biāo)
★ 運(yùn)動擺動:<0.5”
★ 工件臺行程:150×150mm;
★ 重復(fù)定位精度:60nm
★ 微動靈敏度:5nm
★ 水平擺動:<0.5"
★ 垂直擺動:<0.5"
★ 垂直跳動:0.4µm
聯(lián)系人:胡主任、唐主任
電話:85101784、85100564
免責(zé)聲明:科技網(wǎng)發(fā)布的科技成果相關(guān)信息系根據(jù)科技成果信息提供方提供的信息內(nèi)容進(jìn)行發(fā)布。 科技網(wǎng)作為信息收集、發(fā)布平臺,僅對科技成果相關(guān)信息內(nèi)容進(jìn)行發(fā)布,不對所發(fā)布科技成果的相關(guān)信息的真實(shí)性、完整性、準(zhǔn)確性和合法性負(fù)責(zé),不保證所發(fā)布科技成果的名稱、圖片、描述與科技成果的實(shí)際相符,也不對科技成果做任何擔(dān)保和承諾。