用途:在平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤等刻劃中具有突出的功能與用途。
技術(shù)特點(diǎn):
◆ 采用3500W直流高壓汞燈;◆ 采用蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明;
◆ 實(shí)現(xiàn)超大面積光刻; ◆采用CCD自動對準(zhǔn),自動化程度高;
◆ 性能可靠、操作方便。
主要技術(shù)指標(biāo):
★ 曝光面積:430 mm×430 mm;
★ 分辨力:3μm;
★ 對準(zhǔn)精度:≤±1μm ;
★ 掩模尺寸:16英寸、17英寸、18英寸、20英寸;
★ 照明均勻性:±10%(430 mm×430 mm范圍);
★ 掩模相對于樣片運(yùn)動行程:X: ±6mm; Y: ±6mm; θ: ±6度;
聯(lián)系人:胡主任、唐主任
電話:85101784、85100564
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