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URE-2000D型大面積紫外光刻機(jī)

   2016-03-10 科技網(wǎng)整理
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核心提示:用途:在平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤(pán)等刻劃中具有突出的功能與用途。技術(shù)特點(diǎn):◆采用3500W直流高壓汞燈

 

用途:在平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤(pán)等刻劃中具有突出的功能與用途。 
技術(shù)特點(diǎn): 
◆ 采用3500W直流高壓汞燈;◆ 采用蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明; 
◆ 實(shí)現(xiàn)超大面積光刻;   ◆采用CCD自動(dòng)對(duì)準(zhǔn),自動(dòng)化程度高; 
◆ 性能可靠、操作方便。 
主要技術(shù)指標(biāo): 
★ 曝光面積:430 mm×430 mm; 
★ 分辨力:3μm; 
★ 對(duì)準(zhǔn)精度:≤±1μm ;      
★ 掩模尺寸:16英寸、17英寸、18英寸、20英寸; 
★ 照明均勻性:±10%(430 mm×430 mm范圍); 
★ 掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程:X: ±6mm;  Y: ±6mm; θ: ±6度; 
 
聯(lián)系人:胡主任、唐主任 
電話:85101784、85100564

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