12月13日，中國有色金屬學(xué)會公布了2023年度“中國有色金屬十大進(jìn)展”獲獎(jiǎng)名單，中國有研所屬有研工研院“電子級超高純金屬提純用大功率電子束熔煉裝備開發(fā)及其應(yīng)用”項(xiàng)目成功入選。

“電子級超高純金屬提純用大功率電子束熔煉裝備開發(fā)及其應(yīng)用”項(xiàng)目聚焦我國集成電路材料關(guān)鍵裝備的“卡脖子”問題，開發(fā)出國內(nèi)首套滿足先進(jìn)集成電路超高純金屬需求的電子束熔煉裝備，在大功率高效穩(wěn)定熱陰極電子槍、多槍大功率電子束能量控制、高質(zhì)量大規(guī)格鑄錠電子束熔煉裝備集成設(shè)計(jì)等核心技術(shù)領(lǐng)域取得突破，獲得專利授權(quán)40余項(xiàng)，具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)。

該裝備達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進(jìn)水平，并在國內(nèi)主要超高純金屬原材料生產(chǎn)單位投入使用，標(biāo)志著高端電子束熔煉裝備實(shí)現(xiàn)全面國產(chǎn)化。應(yīng)用該設(shè)備生產(chǎn)的超高純鉭、銅等材料已在先進(jìn)集成電路領(lǐng)域獲得批量應(yīng)用，保障了我國集成電路產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵原材料自主可控。

該項(xiàng)目入選“中國有色金屬十大進(jìn)展”，體現(xiàn)了行業(yè)對有研工研院科技創(chuàng)新實(shí)力與成果的認(rèn)可，彰顯了有研工研院對推動(dòng)行業(yè)共性技術(shù)提升、保障國家關(guān)鍵產(chǎn)業(yè)鏈安全的重要作用。有研工研院將繼續(xù)秉承“創(chuàng)業(yè)求實(shí)、創(chuàng)新致遠(yuǎn)”的核心價(jià)值觀，扎實(shí)做好科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)培育，為發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力，推動(dòng)高質(zhì)量發(fā)展繼續(xù)貢獻(xiàn)更大的力量。

（李其曉 公淞俏）