目.gif)
品.gif)
編者按：近年來(lái)，燕趙大地廣大科技工作者堅(jiān)持“四個(gè)面向”，著力攻克“卡脖子”關(guān)鍵核心技術(shù)，形成了一批標(biāo)志性重大科技成果。為表彰獎(jiǎng)勵(lì)在科技活動(dòng)中作出重要貢獻(xiàn)的科技人員和單位，激勵(lì)自主創(chuàng)新、激發(fā)人才活力，省政府設(shè)立了河北省科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)。它是一面旗幟，獎(jiǎng)勵(lì)的是標(biāo)志性重大成果，營(yíng)造的是崇尚科學(xué)、尊重人才的氛圍，對(duì)推動(dòng)全省科學(xué)技術(shù)進(jìn)步、經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展具有重要導(dǎo)向作用。
在黨的二十大即將召開(kāi)之際，為全面回顧我省科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)勵(lì)獲獎(jiǎng)項(xiàng)目，展現(xiàn)我省科技工作者勇攀科技高峰的使命擔(dān)當(dāng)，省科技廳對(duì)近三年獲獎(jiǎng)項(xiàng)目按照產(chǎn)業(yè)類(lèi)別進(jìn)行了梳理，凝練出一批代表性科技成果，推出《“獎(jiǎng)”故事·獻(xiàn)禮黨的二十大》系列宣傳，歡迎持續(xù)關(guān)注！
今天讓我們一同走進(jìn)2021年科學(xué)技術(shù)進(jìn)步一等獎(jiǎng)獲獎(jiǎng)項(xiàng)目“集成電路用含氟高純電子氣體制備技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化”。
集成電路用含氟高純電子氣體制備技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化
研發(fā)背景
含氟高純電子氣體是芯片制造工藝過(guò)程中不可替代的關(guān)鍵材料，對(duì)我國(guó)戰(zhàn)略意義日益凸顯，但該類(lèi)氣體的合成、純化、檢測(cè)等生產(chǎn)工藝具有極高的技術(shù)難度和特殊要求，長(zhǎng)期被美國(guó)、日本、德國(guó)等發(fā)達(dá)國(guó)家掌控。
獲獎(jiǎng)?wù)哒f(shuō)
團(tuán)隊(duì)在純化車(chē)間
研究人員在分析實(shí)驗(yàn)室
第一完成人李俊華：我們的工作就是要突破含氟高純電子氣體制備和產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)的核心關(guān)鍵技術(shù)，形成整套具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的含氟高純電子氣體“安全合成-深度純化-精密分析-高效混配”生產(chǎn)工藝路線(xiàn)，從而實(shí)現(xiàn)其大規(guī)模國(guó)產(chǎn)化生產(chǎn)，為保障我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈安全提供強(qiáng)力技術(shù)支撐。
項(xiàng)目簡(jiǎn)介
項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)圍繞“集成電路用含氟高純電子氣體制備技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化”開(kāi)展了多年科研攻關(guān)，在關(guān)鍵技術(shù)問(wèn)題上取得了突破性的創(chuàng)新：突破了含氟電子氣體安全合成技術(shù)瓶頸，實(shí)現(xiàn)了氟類(lèi)電子氣合成過(guò)程的連續(xù)化和生產(chǎn)安全的本質(zhì)化；研發(fā)了含氟高純電子氣體耦合純化技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了特定雜質(zhì)的靶向脫除和共性雜質(zhì)的共脫除；構(gòu)建了含氟高純電子氣體痕量雜質(zhì)分析技術(shù)體系，實(shí)現(xiàn)了多種雜質(zhì)的精準(zhǔn)定性及定量分析;發(fā)明了電子混合氣高效精準(zhǔn)配置技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了多種混合電子氣高純度、高精度的高效配置和規(guī)?；a(chǎn)。
該成果獲得了2021年度河北省科技進(jìn)步獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)，解決了含氟高純度電子氣體核心技術(shù)“卡脖子”問(wèn)題，打破了國(guó)外電子氣體關(guān)鍵材料核心技術(shù)上的壟斷，有力支撐了國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)的持續(xù)健康發(fā)展，被干勇院士和賀泓院士領(lǐng)銜的權(quán)威專(zhuān)家組評(píng)價(jià)為“含氟電子氣體產(chǎn)品技術(shù)達(dá)到了國(guó)際領(lǐng)先水平”。
免責(zé)聲明：本網(wǎng)轉(zhuǎn)載自其它媒體的文章，目的在于弘揚(yáng)科技創(chuàng)新精神，傳遞更多科技創(chuàng)新信息，宣傳國(guó)家科技政策，展示國(guó)家科技形象，增強(qiáng)國(guó)家科技軟實(shí)力，參與國(guó)際科技輿論競(jìng)爭(zhēng)，提高國(guó)際科技話(huà)語(yǔ)權(quán)，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé)，在此我們謹(jǐn)向原作者和原媒體致以崇高敬意。如果您認(rèn)為本網(wǎng)文章及圖片侵犯了您的版權(quán)，請(qǐng)與我們聯(lián)系，我們將第一時(shí)間刪除。
