2020年全球半導(dǎo)體市場規(guī)模達(dá)4000多億美元，而應(yīng)用于半導(dǎo)體市場的光刻膠產(chǎn)業(yè)規(guī)模僅為19億美元，占比不足1%，是名副其實(shí)的“針尖”領(lǐng)域。在整個(gè)集成電路產(chǎn)業(yè)，這樣的“針尖”還有很多。在昨天舉行的2021中國（上海）集成電路創(chuàng)新峰會之院士圓桌會議上，專家建議，產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新不妨多一些“針尖突破”，由點(diǎn)及面推動我國集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈的創(chuàng)新發(fā)展。

　　點(diǎn)上突破不斷，產(chǎn)業(yè)細(xì)分領(lǐng)域頻現(xiàn)“破冰”

材料和設(shè)備是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基石，產(chǎn)業(yè)規(guī)模大、細(xì)分領(lǐng)域多、技術(shù)門檻高，創(chuàng)新也最為活躍，近年來，不少環(huán)節(jié)已現(xiàn)“破冰”。

芯片制造過程中的光刻步驟，如同用刀雕刻出精密圖案，光刻膠在這一過程中充當(dāng)抗腐蝕涂層。根據(jù)不同的光波長，光刻膠大致可以分為G線、I線、K線、EUV等幾類，在全球光刻膠市場中，日美廠商占據(jù)約87%的份額，國內(nèi)九成光刻膠需求依賴進(jìn)口。

去年底，上海彤程電子材料有限公司投資5.7億元，在上?；瘜W(xué)工業(yè)區(qū)建設(shè)年產(chǎn)1.1萬噸半導(dǎo)體、平板顯示用光刻膠及2萬噸相關(guān)配套試劑項(xiàng)目，目前已完成了K線以下波段的產(chǎn)品研發(fā)，有望為中國集成電路廠商提供高性能光刻材料。

制造一片晶圓可能需要幾十次拋光，拋光材料在整個(gè)集成電路產(chǎn)業(yè)中雖然占比不高，但其質(zhì)量好壞直接影響著下一道工序的進(jìn)程。從中科院上海微系統(tǒng)所博士畢業(yè)后，張澤芳創(chuàng)立了上海映智研磨材料有限公司，專業(yè)從事高精密研磨拋光材料的研發(fā)制造。

張澤芳的研究方向是拋光液，2019年，他從深圳大學(xué)引進(jìn)了從事拋光墊研究的饒峰教授團(tuán)隊(duì)，引入了材料學(xué)、電子學(xué)、凝聚態(tài)物理等方面的新技術(shù)，解決了企業(yè)的關(guān)鍵技術(shù)難題。今年，上海映智上線了三款無紡布拋光墊，預(yù)計(jì)銷售額將突破千萬元。

　　大小聯(lián)動，“螞蟻”“大象”串起產(chǎn)業(yè)鏈上下游

提到集成電路，人們往往把目光聚焦于大企業(yè)，彤程新材料集團(tuán)股份有限公司董事張寧卻說：“做光刻膠的都是小企業(yè)?！睘榱苏业胶玫墓饪棠z材料，公司花費(fèi)兩年時(shí)間，幾乎找遍了國內(nèi)所有高校的新材料團(tuán)隊(duì)，而在產(chǎn)業(yè)研發(fā)過程中，又需要就每一個(gè)參數(shù)不斷和上游企業(yè)磨合，就在這樣的“上接高校，下接大企業(yè)”的聯(lián)動創(chuàng)新中，企業(yè)鍛煉出了一支高水平的技術(shù)隊(duì)伍。

小企業(yè)在集成電路產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中有多重要？新思科技中國董事長兼全球資深副總裁葛群表示，比起資金，集成電路產(chǎn)業(yè)更需要人，巨大的人才缺口僅靠幾家大廠是培養(yǎng)不出來的，需要中小企業(yè)共同培養(yǎng)?！凹呻娐樊a(chǎn)業(yè)不僅靠同一批人在做，它需要源源不斷有其他領(lǐng)域的人加入進(jìn)來，大家一起攻關(guān)難題?！彼f。

如何促進(jìn)“螞蟻” “大象”共同成長？上海市集成電路行業(yè)協(xié)會秘書長郭奕武介紹了一些“他山之石”。比如，成立于上世紀(jì)80年代的“美國半導(dǎo)體制造技術(shù)科研聯(lián)合體”，每年對集成電路投入2億美元的支持，這一舉措使英特爾在8年后坐上了行業(yè)領(lǐng)頭羊的位置。與此同時(shí)，政府在半導(dǎo)體高速發(fā)展時(shí)期推出了《小企業(yè)投資公司法》 《信貸擔(dān)保法案》等十幾部法律，進(jìn)一步推動了半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)化。

　　由點(diǎn)及面，打響“長三角硅谷”品牌

目前，中國已成為全球規(guī)模最大、增長最快的集成電路市場，以上海為龍頭的長三角占據(jù)國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)半壁江山。今年4月，滬、蘇、浙、皖共同成立“長三角集成電路融合創(chuàng)新發(fā)展產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟”，四地集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展聯(lián)系更加緊密。

“應(yīng)以長三角的名義走出去，一起打響‘長三角硅谷’品牌?！惫任湔J(rèn)為，長三角的優(yōu)勢在于產(chǎn)業(yè)鏈齊全，要加強(qiáng)企業(yè)在集成電路產(chǎn)業(yè)的參與度，根據(jù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)律制定“揭榜清單”，明確哪些需要基礎(chǔ)研究突破，哪些需要產(chǎn)業(yè)聯(lián)合攻關(guān)，共同解決卡脖子問題，將“點(diǎn)”上的突破化為“面”上的創(chuàng)新。

中國科學(xué)院院士褚君浩則表示，應(yīng)重視技術(shù)工人在集成電路產(chǎn)業(yè)中的地位。比如， “能否發(fā)起‘集成電路工匠’評選，讓一批有手藝的技術(shù)工人脫穎而出，讓更多人參與到該行業(yè)中來?！保ㄓ浾?沈湫莎）