2萬科技工作者9年攻關，從無到有填補空白，由弱漸強走向世界，國家科技重大專項成功打造集成電路制造業(yè)創(chuàng)新體系，引領和支撐我國集成電路產(chǎn)業(yè)快速崛起，輻射帶動我國LED和光伏產(chǎn)業(yè)世界領先。5月23日，科技部會同北京市和上海市人民政府在京組織召開了國家科技重大專項"極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝"（簡稱集成電路專項）成果發(fā)布會。發(fā)布會由科技部重大專項辦公室主任陳傳宏主持，專項牽頭實施單位北京市經(jīng)信委主任張伯旭、上海市科委總工程師傅國慶和專項技術總師葉甜春介紹了集成電路專項實施取得的攻關成果及應用情況，并就熱點問題答記者問。

　　長期以來，我國集成電路產(chǎn)業(yè)一直受到西方在先進制造裝備、材料和工藝引進等方面的種種限制，高端芯片主要依賴進口。為實現(xiàn)自主創(chuàng)新發(fā)展，2008年國務院批準實施集成電路專項，主攻裝備、工藝和材料的自主創(chuàng)新。陳傳宏介紹，該專項由北京市和上海市人民政府牽頭組織實施，共有200多家企事業(yè)單位、2萬多名科學工作者參與技術攻關，集中在北京、上海、江蘇、沈陽、深圳和武漢等6個產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)。

　　此次發(fā)布的專項成果包括9年來已研發(fā)成功并進入海內(nèi)外市場的30多種高端裝備和上百種關鍵材料產(chǎn)品，面向全球開展服務的65至28納米產(chǎn)品工藝和高密度封裝集成技術成果。張伯旭表示，高端裝備和材料從無到有填補產(chǎn)業(yè)鏈空白，制造工藝與封裝集成由弱漸強走向世界參與國際競爭，表明國家科技重大專項打造集成電路制造創(chuàng)新體系的階段性目標已經(jīng)實現(xiàn)。

　　在近幾年我國集成電路產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展中，重大專項發(fā)揮了顯著的創(chuàng)新引領和技術支撐作用。傅國慶介紹，在專項支持下，一批龍頭企業(yè)進入世界前列，一批骨干企業(yè)進入國際市場，一批企業(yè)成功上市。產(chǎn)業(yè)鏈尤其是裝備、材料等基礎產(chǎn)業(yè)的短板得到補充，整體實力得到快速提升。

　　傅國慶表示，集成電路裝備既是信息產(chǎn)業(yè)的核心支撐技術，又是制造業(yè)的領先高端技術，是兩個產(chǎn)業(yè)的交叉戰(zhàn)略制高點。集成電路裝備對配套產(chǎn)業(yè)的技術要求很高，它的發(fā)展帶動了我國精密加工能力、表面處理能力、基礎材料、基礎工藝、基礎零部件等水平的提升，推動我國制造業(yè)向高端發(fā)展。同時集成電路制造裝備作為基礎產(chǎn)業(yè)，其成果的輻射帶動面很廣。利用專項取得的核心技術，輻射應用到LED、傳感器、光伏、液晶面板等泛半導體制造領域，使我國相關領域裝備國產(chǎn)化率大幅提升。如在LED、光伏等領域已實現(xiàn)關鍵裝備成套國產(chǎn)化，國產(chǎn)裝備成為市場主流。據(jù)不完全統(tǒng)計，國產(chǎn)裝備在泛半導體產(chǎn)業(yè)已實現(xiàn)銷售6590臺。國產(chǎn)裝備的發(fā)展，使我國在LED、光伏等領域投資成本顯著降低，持續(xù)推動我國相關產(chǎn)業(yè)整體競爭力大幅提升，我國在LED照明、光伏等產(chǎn)業(yè)規(guī)模躍居世界第一。

　　"培育自主知識產(chǎn)權體系是科技重大專項組織實施的重中之重"，葉甜春介紹，集成電路專項已申請了2.3萬余項國內(nèi)發(fā)明專利和2000多項國際發(fā)明專利，所形成的知識產(chǎn)權體系使國內(nèi)企業(yè)在國際競爭中的實力和地位發(fā)生了巨大變化，發(fā)展模式也從"引進消化吸收再創(chuàng)新"轉變?yōu)?自主研發(fā)為主加國際合作"的新模式。

　　關于今后的發(fā)展，傅國慶表示，面向2020年，專項將圍繞傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)升級和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需求組織攻關，推動創(chuàng)新成果的規(guī)?；瘧茫嘤哂袊H競爭力的產(chǎn)業(yè)集群，為"創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略"的實施提供科技支撐。葉甜春介紹，專項已在14納米裝備、工藝、封裝、材料等方面進行了系統(tǒng)部署，預計到2018年將全面進入產(chǎn)業(yè)化。"十三五"還將重點支持7-5納米工藝和三維存儲器等國際先進技術的研發(fā)，支持中國企業(yè)在全球產(chǎn)業(yè)鏈中擁有核心競爭力，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展，形成特色優(yōu)勢。