7月28日,極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝國(guó)家科技重大專項(xiàng)(以下簡(jiǎn)稱“02專項(xiàng)”)“40-28納米集成電路制造用300毫米硅片”項(xiàng)目啟動(dòng)會(huì)在臨港產(chǎn)業(yè)區(qū)舉行。國(guó)家科技部副部長(zhǎng)、02專項(xiàng)領(lǐng)導(dǎo)小組組長(zhǎng)曹健林,02專項(xiàng)第一行政責(zé)任人、上海市副市長(zhǎng)周波出席并共同啟動(dòng)電鈕。項(xiàng)目承擔(dān)單位、上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司負(fù)責(zé)人張汝京介紹了“40—28納米集成電路制造用300毫米硅片”項(xiàng)目情況。國(guó)家科技部重大專項(xiàng)辦、高新司、02專項(xiàng)實(shí)施管理辦公室、上海市有關(guān)委辦局及臨港地區(qū)的負(fù)責(zé)同志,02專項(xiàng)專家咨詢委員會(huì)、總體專家組有關(guān)專家和集成電路行業(yè)代表出席。
集成電路產(chǎn)業(yè)是信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心,重大專項(xiàng)實(shí)施以來(lái),我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)技術(shù)水平和能級(jí)迅速提升,但作為集成電路制造業(yè)最大宗的關(guān)鍵材料,300毫米硅片一直依賴進(jìn)口,嚴(yán)重制約我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力和供應(yīng)鏈安全。攻克300毫米硅片量產(chǎn)技術(shù),實(shí)現(xiàn)自主供應(yīng),是02專項(xiàng)核心任務(wù)之一。
項(xiàng)目承擔(dān)單位上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司由上海新陽(yáng)、興森科技等上市公司和上海新傲、張汝京博士為首的核心技術(shù)團(tuán)隊(duì)共同發(fā)起,總投資68億元人民幣,其中一期投資23億元,預(yù)計(jì)2017年底完成40-28納米300毫米硅片量產(chǎn)技術(shù)攻關(guān),實(shí)現(xiàn)15萬(wàn)片/月產(chǎn)能建設(shè),打破我國(guó)大尺寸硅材料基本依賴進(jìn)口的局面,實(shí)現(xiàn)我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)高端硅片批量自主供應(yīng),為我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展奠定堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。與此同時(shí),該項(xiàng)目落戶臨港,也將進(jìn)一步推動(dòng)臨港地區(qū)高端制造業(yè)的發(fā)展,成為上海全球科創(chuàng)中心建設(shè)的又一新亮點(diǎn)。
新昇公司于2014年6月成立,目標(biāo)為2023年前實(shí)現(xiàn)月產(chǎn)60萬(wàn)片硅片的生產(chǎn)能力。截至目前,新昇公司已完成項(xiàng)目建設(shè)立項(xiàng)準(zhǔn)備工作,獲得了施工許可,預(yù)計(jì)2016年完成設(shè)備安裝調(diào)試和試生產(chǎn),產(chǎn)品進(jìn)入用戶驗(yàn)證,2017年實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)銷售。新昇公司的核心技術(shù)團(tuán)隊(duì)來(lái)自于日本、美國(guó)、韓國(guó)、歐洲以及國(guó)內(nèi)多個(gè)地區(qū)的專家,均是半導(dǎo)體硅片行業(yè)的一流技術(shù)人才,有著多年300毫米大硅片研發(fā)與生產(chǎn)實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)。為確保300毫米半導(dǎo)體硅片制造技術(shù)在國(guó)內(nèi)落地,核心技術(shù)團(tuán)隊(duì)成員將分別負(fù)責(zé)產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)、質(zhì)量管控、市場(chǎng)銷售,并確保公司產(chǎn)品技術(shù)、質(zhì)量、成本等各項(xiàng)指標(biāo)滿足國(guó)際市場(chǎng)的要求,同時(shí)還將培訓(xùn)和培養(yǎng)國(guó)內(nèi)專業(yè)技術(shù)人員,確保大硅片國(guó)產(chǎn)化有充足的技術(shù)人員。
在臨港期間,曹健林副部長(zhǎng)還考察了中航商發(fā)公司和海洋大學(xué)。
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