作為《國家中長期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要（2006-2020）》確定的16個科技重大專項之一, “極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”（簡稱02專項）于2011年3月3日在北京舉行“十一五”成果發(fā)布暨采購簽約儀式。全國政協(xié)副主席、科技部部長萬鋼，北京市委常委趙鳳桐，02專項第一行政責(zé)任人北京市副市長茍仲文、上海市副市長沈曉明，02專項實施管理辦公室成員單位負(fù)責(zé)人、總體專家組成員，02專項項目承擔(dān)單位負(fù)責(zé)人等130人出席此次活動。
　　
　　02專項實施以來，在科技部等國家有關(guān)部委的大力支持下，在北京市和上海市政府的共同努力下，各項工作進展順利，一批課題取得了突破性進展。在成套工藝和整機裝備等方面，依靠自主力量，掌握了一批制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心技術(shù)。目前，02專項立項研發(fā)的35種集成電路裝備、材料陸續(xù)進入大生產(chǎn)線考核驗證階段。23種封裝裝備和8種封裝材料已通過國內(nèi)最大集成電路封裝測試廠——江蘇長電科技的大生產(chǎn)線驗證?！笆晃濉逼陂g，02專項各單位已累計申請專利4248件，研發(fā)成果實現(xiàn)銷售總額已超過100億元，帶動相關(guān)產(chǎn)業(yè)增長近千億元。
　　
　　本次活動集中發(fā)布了02專項“十一五”實施期間所取得的重要成果。成套工藝方面，中芯國際“65納米成套產(chǎn)品工藝”整體研發(fā)完成并進入批量生產(chǎn)，使我國集成電路制造水平首次達到國際主流水平，基于該成果生產(chǎn)的產(chǎn)品已為中芯國際貢獻了6億元的產(chǎn)值。裝備整機方面，多臺12英寸集成電路生產(chǎn)線用關(guān)鍵整機產(chǎn)品及關(guān)鍵零部件實現(xiàn)突破，改變了此類產(chǎn)品長期被國外壟斷的被動局面。上海中微半導(dǎo)體公司研制的12英寸65納米介質(zhì)刻蝕機產(chǎn)品提前完成專項目標(biāo)，已獲得了國內(nèi)外批量訂單20臺；北京北方微電子公司研制的12英寸65納米柵刻蝕機通過中芯國際全部工藝驗證及全過程在線驗證，中芯國際計劃首批采購10臺。
　　
　　這些成果的取得使我國與國外發(fā)達國家和地區(qū)在相同領(lǐng)域的技術(shù)差距縮短至一個技術(shù)代（約1-2年），也為我國的集成電路產(chǎn)業(yè)開展國際競爭贏得了更多的話語權(quán)，是我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展史上具有里程碑意義的事件。同時，02專項的這些成果也將與核高基、新一代無線通信網(wǎng)等其他國家科技重大專項相結(jié)合，在國務(wù)院《進一步鼓勵軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干政策》推動下，帶動眾多國內(nèi)集成電路設(shè)計企業(yè)以及相關(guān)信息網(wǎng)絡(luò)產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)跨越式發(fā)展，為戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)在我國的蓬勃興起打下良好的基礎(chǔ)。
　　
　　本次活動還舉行了采購合同與合作協(xié)議的簽約儀式。中芯國際、長電科技、通富微電與相關(guān)集成電路設(shè)計企業(yè)分別簽訂合作協(xié)議；中芯國際、上海華力、長電科技、通富微電與國內(nèi)裝備、材料企業(yè)分別簽訂采購合同。