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中科院光電研究所
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超精密定位氣浮工件臺
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URE—2000B型紫外光刻機
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HRM-LAMBDA 高精度反射率測量儀
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堆芯裝卸料輔助工具—光槍(GQ500-IOE)
2016-03-10
IOE-EMCCD60
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